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2019年12月9日(月)

加速度センサーの100倍高感度で低ノイズ化に成功 医療やロボット開発の応用に期待

・新しく開発された加速度計は、従来の加速度計よりも感度が100倍、ノイズが1/10を実現。

・1 µGレベルの分解能を達成。

・さまざまな動作検知アプリケーション、医療やヘルスケアテクノロジーで使用可能。

世界の家庭用電化製品市場は、2024年までに1.8兆ドルを超えると予想されています。アナリストは、加速度を測定する電機機器の加速度計の大幅な需要の拡大を予測しています。大量生産可能な小型機器は、通常、微小電気機械システム(MEMS)技術によって開発されます。

現在、東京工業大学とNTTアドバンストテクノロジー株式会社の研究者らは、従来の加速度計に比べて感度を100倍以上で、ノイズは1/10以下に抑える新しい方法を開発しました。

効率的に加速度計を設計する際、ノイズの低減とサイズの低減の間にはトレードオフの関係があります。 これは、機械的ノイズが加速度計(移動電極の質量)に反比例するからで容量性加速度計でも、感度は加速度計のサイズに正比例し、感度の向上とサイズの縮小の間にもトレードオフがあります。

既存のシリコンベースのMEMS加速度計は、(微小重力のスケールでは)微小なレベルの動力加速度は検出することができません。

新しいデザイン

高解像度の加速度...

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