2020年02月27日(木)

宇宙空間にも耐えうる技術を持つメモリデバイス「不揮発性メモリ」

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・新しい強誘電体コンデンサが、100億回の書き換えを可能に。

・既存のフラッシュドライブとは異なり、強誘電体メモリデバイスは宇宙空間でも動作可能。

自発分極を備えた強誘電体を利用した不揮発性メモリデバイスのコンセプトは、低い消費電力、高速書き込み、（理論上）無限の耐久性です。そして、これらのコンセプトは、まだまだ大きな可能性を秘めています。

今日、電子産業では、既存のソリッドステートドライブやフラッシュドライブよりも長い寿命と早いアクセスを兼ね備えている不揮発性メモリ技術へのニーズが高まっています。その不揮発性メモリ技術の有望な候補の1つが、マイクロエレクトロニクス業界（微細電子業界）ですでに知られている誘電体を使用した「二酸化ハフニウムベースメモリ」です。

特定の温度処理や合金化によって、二酸化ハフニウムの薄い層が強誘電特性を示す準安定結晶を形成し、電界の方向を「記憶」できる性能があります。

この新しい酸化ジルコニウムハフニウム酸化膜の構造は、通常の電気コンデンサに似通う面もあります。それが2つの電極間に挟まれた約10ナノメートルの「厚さ」です。

強誘電体コンデンサの残留分極をメモリとして使用できるように、ナノフィルム全体に分布する電位の測定など、薄膜で起きるプロセスを深く理解しな...